据中国法院网消息，科技创新板首批上市公司之一的中国微半导体设备(上海)有限公司卷入维科仪器行政专利纠纷案。
根据法院起诉状副本，原告是威科仪器有限公司，因专利行政纠纷起诉被告国家知识产权局和第三人。本案已被北京知识产权法院受理，法院将于2020年9月10日14: 00开庭审理。
截至发稿时，中伟公司未对此案发表评论。
zX.wnfcw。Cn国际电子商务新闻边肖获悉，这起诉讼可以追溯到2017年的一桩专利无效宣告案件。
2017年5月，中威半导体向国家知识产权局申请维科仪器专利无效，国家知识产权局于2017年9月开始审理，并于2018年1月裁定化学气相沉积法在晶圆上生长外延层的无基座反应器发明专利(专利号)无效。
但维科仪器对国家知识产权局审理的专利无效宣告决定不服，向北京知识产权法院提起行政诉讼。该案于2018年受理，将于2020年9月10日14: 00开庭审理。
据了解，与化学气相沉积设备专利相关的MOCVD设备是生产发光二极管(LED)芯片等半导体器件的核心设备，在半导体行业价值链中占有重要地位，对产业发展有重要影响。T8sesmc
2018年，由于相关专利，中威半导体还被其竞争对手之一——威科精密仪器公司要求无效。T8sesmc
2018年，威科精密仪器国际贸易(上海)有限公司对该实用新型专利(专利号：专利权人中威半导体设备(上海)有限公司ZL****9.5)，原国家知识产权局专利复审委员会经审理作出复审决定，在修改后的权利要求基础上维持中威半导体专利权的有效性。T8sesmc
据报道，该设备包括一个旋转主轴和一个随其旋转的托盘。工作时，将芯片放在托盘上，由托盘驱动旋转，通过气相沉积工艺在芯片表面沉积外延层。半导体芯片的高精度要求托盘旋转的稳定性和精度。所涉及的专利是主轴和托盘之间连接的改进。T8sesmc
负责编辑：伊莲
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